「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2025」に出展いたします

I-PEX株式会社は、2025年1月29日（水）から1月31日（金）の3日間、東京ビッグサイトにて開催される「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2025」に出展いたします。

当社ブースでは、開発中のZrO₂バッファー層成膜用蒸着装置「ZrO₂真空蒸着装置」、単結晶薄膜ウエハー（チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）、窒化アルミニウム（AlN））を展示予定です。また、単結晶圧電薄膜成膜・MEMS加工技術を用いて高性能な圧電MEMSの開発をサポートする「MEMSファウンドリサービス」をご紹介いたします。

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概要