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I-PEX独家的单晶压电薄膜基板"KRYSTAL Wafer®"。作为支撑压电MEMS 器件高性能化的核心技术,在传感器、执行器、声学器件等众多领域开拓新的可能性。为您带来最新研发和应用案例资讯。
利用 I-PEX Piezo Solutions 的“KRYSTAL® Wafer”可在Si衬底上实现高性能热开关
荣获 2024 年溅射和等离子工艺技术委员会奖
希望将I-PEX作为实现自己人生的舞台/小西玲仁(董事长)
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