#MEMS
I-PEX的MEMS技术，以采用自主研发的单晶压电薄膜基板"KRYSTAL Wafer®"的压电MEMS生产代工为代表，实现气味传感器等独特的先进器件。我们将为您带来运用 MEMS 的产品与技术开发的最新资讯。
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I-PEX Piezo Solutions株式会社的研究成果“外延Pt/ZrO₂/Si层中界面结构序列变化的机制”发表于学术期刊
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【The 3rd Semiconductor Technology Expo in Kyushu】展指南
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I-PEX Piezo Solutions为强化制造能力，举行压电MEMS生产代工业务用无尘室的开幕仪式
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利用 I-PEX Piezo Solutions 的“KRYSTAL® Wafer”可在Si衬底上实现高性能热开关
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曾亮相九州放送TVQ节目“THE LEADERS——创造未来的制造企业”
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荣获 2024 年溅射和等离子工艺技术委员会奖
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什么是微机电系统（MEMS）？
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【MEMS SENSING & NETWORK SYSTEM 2025】展指南
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I-PEX Launches “The Sharpest”,
Its New Owned Media Platform
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